具體情況要具體分析。半導(dǎo)體廠一般會有有毒有害的物質(zhì)，但不等于一定會有，也不等于每個設(shè)備都有。重點要看你所維修的設(shè)備是什么。一般的MOCVD是有毒的。另外，就是維修過程一定要注意自我防護，規(guī)定穿戴防毒面具的一定不要省略，一般應(yīng)帶橡膠手套。經(jīng)驗上處理腐蝕性物質(zhì)時，帶雙層手套。至于輻射呢，一般沒有電離輻射，電磁輻射多出現(xiàn)在有等離子體的設(shè)備上（比如磁控濺射，ICP刻蝕，PECVD等等）。